據首爾經濟日報于8月15日報道，三星將于 2024 年第 4 季度至 2025 年第 1 季度期間，安裝首臺來自 ASML 的 High-NA EUV 光刻機，并預估 2025 年年中投入使用。據報道，三星已經購買了 Lasertec 的 High-NA EUV 掩膜檢測工具 Actis A300。

報道稱三星將在其華城園區內安裝首臺 ASML Twinscan EXE:5000 High-NA 光刻機，主要用于研發目的，開發用于邏輯和 DRAM 的下一代制造技術。三星計劃圍繞高 High-NA EUV 技術開發一個強大的生態系統：除了收購高 NA EUV 光刻設備外，三星還與日本 Lasertec 公司合作開發專門用于 High-NA 光掩膜的檢測設備。

三星電子半導體研究所的 Min Cheol-ki 博士在 2024 年光刻與圖案化研討會上表示：“與傳統的 [EUV 專用工具] 相比，使用 [High-NA EUV 專用工具] 檢測半導體掩膜可將對比度提高 30% 以上”。報道還稱三星還與光刻膠制造商 JSR 和蝕刻機制造商東京電子公司合作，準備在 2027 年之前將高納 EUV 工具投入商業應用。

三星還與新思科技（Synopsys）合作，在光掩膜上從傳統的電路設計轉向曲線圖案。這一轉變有望提高電路壓印在晶片上的精度，這對進一步完善工藝技術至關重要。